Interferentzia optikoen lodiera-neurgailua
Itsasteko prozesuan erabiltzen denean, ekipamendu hau itsasteko deposituaren atzean eta labearen aurrean jar daiteke, itsasketaren lodiera online neurtzeko eta askatzeko filmaren estalduraren lodiera online neurtzeko, zehaztasun oso handiarekin eta aplikazio zabalekin, bereziki egokia nanometro mailarainoko lodiera behar den geruza anitzeko objektu gardenen lodiera neurtzeko.
Produktuaren errendimendua/parametroak
Neurketa-tartea: 0,1 μm ~ 100 μm
Neurketaren zehaztasuna: % 0,4
Neurketaren errepikagarritasuna: ±0,4 nm (3σ)
Uhin-luzeraren tartea: 380 nm ~ 1100 nm
Erantzun denbora: 5~500 ms
Neurketa-puntua: 1 mm ~ 30 mm
Eskaneatze dinamikoaren neurketaren errepikagarritasuna: 10 nm
Idatzi zure mezua hemen eta bidali iezaguzu